[14p-1B-1~9] 酸化物半導体の評価技術

[14p-1B-4] X線回折による機能性酸化物薄膜の評価

〇稲葉 克彦¹ (1.株式会社リガク)

キーワード：X線回折、酸化物、エピタキシャル薄膜

近年のX線回折装置では光学素子の改良や多次元検出器の搭載，制御ソフトウェアの使い勝手向上などにより，複雑な測定技法が迅速かつ簡便に実現できるようになってきている．X線回折法やX線反射率法などの様々な評価技法を用い，最先端の機能性酸化物薄膜の評価を行った事例を紹介する．この他，極性評価，トポグラフィなどの最新の評価事例についても報告する予定である．