[14p-1B-1~9] 酸化物半導体の評価技術

[14p-1B-5] 半導体・電気材料におけるＡＦＭの形状と物性評価技術の進化

〇寺田 昇¹ (1.パーク・システムズ・ジャパン)

キーワード：AFM、原子間力顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡

商品化されて約３０年を迎えるＡＦＭ（原子間力顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡）は、これまで様々な進化を遂げてきた。ここでは、特に半導体材料・電気材料・デバイス等の評価において、従来のＡＦＭでは克服できなかった形状評価技術の最新ソルーションと今後益々運用が期待される電気特性計測機能の進化について、装置メーカの立場で最新状況を紹介させていただく。