[14p-1B-1~9] 酸化物半導体の評価技術

[14p-1B-8] ラマン分光法による酸化物半導体の評価

〇長田 実¹ (1.物材機構MANA)

キーワード：酸化物半導体、ラマン分光法

本講演では，我々のグループでの研究を例に，酸化物半導体の評価手法としてのラマン分光法の特徴について紹介する．特に，相評価，ドーピング効果，キャリア濃度，応力などの評価例や，波長可変レーザ、近接場光学顕微鏡を利用した最近の測定技術を取り上げ，ラマン分光法を使うと何が有用な情報となるのかを例解する