[14p-2G-1~13] CS1 3.5 レーザー装置・材料,3.14 光制御デバイス・光ファイバーのコードシェアセッション

[14p-2G-12] LiTaO₃埋め込みチャネル型光導波路の作製と電気光学偏光変調器への応用

姚 欣遠¹、〇村田 博司¹、岡村 康行¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：光変調、光導波路、偏光制御

LiTaO₃を用いた導波型電気光学偏光変調器の試作・実験について報告する。z-cut LiTaO₃をベース基板上に貼付し、光学研磨・ダイシング・ドライエッチングにより埋め込みチャネル型光導波路を作製した。試作導波路の伝搬損失はTEモード：約0.67dB/cm、TMモード：約0.75dB/cmであった。偏光変調実験の結果、設計通り1550nm帯での偏光変調動作（帯域幅約20nm）の確認に成功した。