[14p-2H-1~15] 6.3 Oxide electronics

[14p-2H-5] Electrical- and magneto-conductive properties in Fe₃O₄ thin films on thermally oxidized Si substrates produced by rapid thermal deoxidation method

〇Akihisa Fujita¹, Hiromi Kobori¹, Atsushi Yamasaki¹, Toshifumi Taniguchi², Tetsuo Shimizu³ (1.Konan Univ, 2.Osaka Univ, 3.AIST)

Keywords:magnetite,magnetoregistance,rapid thermal deoxidation method

酸素反応性スパッタリング法を用いて、Feターゲットから熱酸化Si基板上にヘマタイト薄膜を作製した。作製したヘマタイトを、赤外光ファネスを用いて、Ar(90%)/H₂(10%)ガス雰囲気中で急速熱処理還元し、マグネタイト薄膜を作製した。また、XRD測定により試料の同定と最適熱処理時間の決定をした。さらに、表面形状を調べるために、AFM測定を行った。He冷凍機を用いて、5K～300Kの温度範囲で抵抗率および磁気抵抗の温度依存性を調べた。