[14p-2K-1~17] 15.1 バルク結晶成長

[14p-2K-15] IR-FZ法による結晶育成における結晶形状と溶融帯形状の関係

〇綿打 敏司^1,2、ホサイン エムディームクタール¹、長尾 雅則¹、田中 功¹ (1.山梨大院クリスタル研、2.JSTさきがけ)

キーワード：融液成長、帯溶融

IR-FZ法によるシリコン結晶育成では、育成条件によって育成形状が円筒状になったり、スパイラル状となったりすることを報告してきた。本研究では、その要因を調べるため、育成形状が円筒状となる育成条件とスパイラル状となる育成条件の溶融帯形状について調べた。その結果、育成結晶の形状がスパイラル状となる条件に近づくほど溶融帯形状が非対称になることがわかった。