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[14p-2K-16] 宇宙ステーションで育成した均一組成SiGe結晶の成長縞解析
キーワード:国際宇宙ステーション、シリコンゲルマニウム、成長縞
2013年2月から2014年7月まで、合計4回国際宇宙ステーションに設置されている温度勾配炉を利用し、飽和溶融帯移動法(Traveling Liquidus Zone法)にて均一組成SiGe混晶を育成した。本講演では、3回目の結晶成長実験で観察された成長縞を利用し、界面形状変化と界面組成変化を解析した結果について報告する。