[14p-4E-1~21] 7.6 Ion beams

△ [14p-4E-16] Development of Time-of-flight mass spectrometer for light element ions produced by field evaporation

〇Yuki Haneji¹, Tasuku Sone¹, Hiroshi Tsuji¹, Yasuhito Gotoh¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:Time-of-flight,Field evaporation,TOF mass spectrometer

アトムプローブにおける軽元素の電離機構解明に向けて飛行時間形質量分析 (TOF) 装置の製作に着手し、電界蒸発したWイオンのTOF 測定を試みた。電界蒸発イオンの検出に先立ち、電界電離Arイオンを今回製作した TOF装置 により分析し、飛行時間が理論値とほぼ一致することを確認した。続いてWの電界蒸発イオンのTOF測定を行い、W⁴⁺と考えられるイオンを検出した。