[14p-4F-1~8] 誘電体・強誘電体材料およびデバイスの新展開を求めて

[14p-4F-8] PZT薄膜を用いたジャイロ製品、およびファンドリ事業戦略

〇松岡 元¹ (1.シリコンセンシング)

キーワード：ジャイロ、PZT、MEMS

強誘電薄膜は加速するセンサー社会へのキー技術として注目されている。PZT-MEMSの産業展開への経験として、自社PZT式MEMSリングジャイロの開発と量産化について報告する。また事業化課題として国内外に展開しているMEMSファンドリサービスの取り組み状況から、特に圧電薄膜の量産性、工程管理、アプリケーションに要求される信頼性性能などを企業目線にて報告します。