[14p-CE-5~11] 窒化物半導体を用いた新機能半導体レーザの創出とその応用　－レーザ発振から20年目を迎えて－

[14p-CE-10] 長共振器型窒化物系面発光レーザの設計と発振特性

〇川口 真生¹、今藤 修¹、永松 謙太郎²、山中 一彦²、瀧川 信一¹、片山 琢磨¹ (1.パナソニック(株)、2.パナソニックセミコンダクターソリューションズ(株))

キーワード：窒化ガリウム、面発光レーザ、アレー

窒化物(GaN)系面発光レーザアレーが、幅広い応用例の光源として期待される。面発光レーザアレーでは、各素子の均一発光が重要になるが、共振器長尺化により、波長が近接した複数の縦モードが許容され、発熱で変化した発光層波長に整合する別モードで発振させることができ、熱分布のあるアレー全体での均一発光が容易になる。本稿では、このような長共振器型GaN系面発光レーザの設計と、試作素子の発光特性について報告する。