[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-14] スパッタ法による水素添加Mg-Ni薄膜の作製

〇清水 英彦¹、岩野 春男¹、川上 貴浩¹、福嶋 康夫¹、永田 向太郎¹ (1.新潟大工)

キーワード：調光ミラー、Mg-Ni薄膜、水素

本研究では，調光ミラー特性による新規のエレクトロクロミックデバイスを検討するために，スパッタ法によりMg-Ni薄膜に水素を添加することの検討を行った。