The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015

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6 Thin Films and Surfaces » 6.4 Thin films and New materials

[14p-PA10-1~16] 6.4 Thin films and New materials

Mon. Sep 14, 2015 4:00 PM - 6:00 PM PA10 (Event Hall)

4:00 PM - 6:00 PM

[14p-PA10-15] A study on the preparation of tantalum- and tungsten-doped vanadium oxide films
as a detector material for infrared sensors

Taiki Arai1, Kazuhiro Saito1, Watanabe Ryosuke1, 〇Yoji Saito1 (1.Seikei Univ.)

Keywords:infrared sensor,phase transformation

我々はボロメータ型センサ用材料として、これまでVO2中に少量のタングステン(W)とタンタル(Ta)を添加することにより相転移温度を低温側へシフト、ヒステリシスを減少させることを確認してきた。WとTaのドープ量を変化させ、不純物のドープ量がTCR・ヒステリシス・相転移温度に与える影響を調べた。