[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-15] 赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅳ)

新井 大輝¹、齋藤 和弘¹、渡邊 良祐¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：赤外線センサ、相転移

我々はボロメータ型センサ用材料として、これまでVO₂中に少量のタングステン(W)とタンタル(Ta)を添加することにより相転移温度を低温側へシフト、ヒステリシスを減少させることを確認してきた。WとTaのドープ量を変化させ、不純物のドープ量がTCR・ヒステリシス・相転移温度に与える影響を調べた。