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[14p-PA10-16] 大気開放型CVD法を用いた単結晶MgO基板上に合成した酸化ストロンチウム膜
キーワード:酸化ストロンチウム、大気開放型CVD
我々は,常圧で準安定な酸素8配位の高圧相SrO:Eu2+青色蛍光体を単結晶MgO基板上での高温還元焼成プロセスを用いて合成した1,2).高圧相SrO:Eu2+青色蛍光体は,高輝度な青色発光を示し,また従来のSrO結晶に比べて耐水性に優れている.より詳細な物性を調査する為には、高品質なバルク単結晶を用いるのが望ましい.そこで,大気開放型CVD法を用いて,広面積かつ高品質な高圧相SrOエピタキシャル膜の作製を試みる.大気開放型CVD法を用いて単結晶MgO基板上にSrO膜の合成を試み,得られたSrO膜の評価を行った.