[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [14p-PA10-2] 一軸加圧熱処理による非晶質VO_x薄膜の相選択的固相結晶化と配向制御

〇野沢 靖久¹、嶋田 航大¹、難波 諒太郎¹、譚 ゴオン¹、金子 智²、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大総理工、2.神奈川産技セ)

キーワード：酸化バナジウム、固相成長、熱ナノインプリント