[14p-PA12-1~9] 3.7 Laser processing

[14p-PA12-4] Themal analysis of two wavelength laser microprocessing inside glass

〇Aoi Matsumoto¹, Takayuki Tamaki¹, Shinichi Enoki¹, Keisuke Yahata², Etsuji Ohmura³ (1.National Insutitute. of Technology, Nara College, 2.Mitsuboshi Diamond, 3.Osaka Univ.)

Keywords:Themal Analysis,two wavelength laser microprocessing,Internal processing of the glass

超短光パルスレーザー光であるフェムト秒レーザーと，熱効果を付与することができるCO₂レーザーとを同時に照射する2波長レーザーマイクロ加工をガラス内部に適用した場合，CO₂レーザーの出力を増加させることにより，フェムト秒レーザー単体の加工と比較して構造変化領域が増大する結果が得られている．本研究では先行研究の実験結果に基いて，2波長レーザーマイクロ加工を行う場合のガラス材料内部の伝熱解析を行う．