[14p-PA12-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[14p-PA12-4] ガラス内部の 2 波長レーザーマイクロ加工における伝熱解析

〇松本 葵¹、玉木 隆幸¹、榎 真一¹、八幡 恵輔²、大村 悦二³ (1.奈良高専、2.三星ダイヤモンド、3.大阪大学)

キーワード：伝熱解析、2波長レーザーマイクロ加工、ガラスの内部加工

超短光パルスレーザー光であるフェムト秒レーザーと，熱効果を付与することができるCO₂レーザーとを同時に照射する2波長レーザーマイクロ加工をガラス内部に適用した場合，CO₂レーザーの出力を増加させることにより，フェムト秒レーザー単体の加工と比較して構造変化領域が増大する結果が得られている．本研究では先行研究の実験結果に基いて，2波長レーザーマイクロ加工を行う場合のガラス材料内部の伝熱解析を行う．