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△ [14p-PA7-1] 半導体メサ集積ボウタイアンテナのテラヘルツ波帯放射特性解析のための物理ベース等価回路同定
キーワード:ボウタイアンテナ、等価回路
THz波送受信素子に採用するアンテナとして、ボウタイアンテナの広帯域性が利用されている。送信側素子は、ボウタイアンテナは有限サイズ・発振素子や周辺回路との集積が不可避であり理想形状から変形が生じるため、特性予測にはこれらの影響を考慮する必要がある。本稿では、THz波励振半導体メサとボウタイアンテナの集積構造の物理パラメータに基づく等価回路による放射特性解析を行い特性を決定する構造の考察を行った。