[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14p-PA9-12] フィルタードアーク蒸着法を用いた膜質の異なる多層DLC膜の形成

〇針谷 達¹、山野 将史¹、宮本 優¹、藤井 裕真¹、今井 貴大¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 祐史³、辻 信広³ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.オンワード技研)

キーワード：DLC、フィルタードアーク蒸着法