[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-5] アモルファス窒化炭素薄膜を用いた光駆動ダイヤフラムの試作

〇原田 人萌¹、青野 祐美¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防大材料)

キーワード：光駆動、アモルファス窒化炭素薄膜、ダイヤフラム