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[14p-PB5-10] 2D-GIXDにおける角度分解能・S/B比向上を目的としたμビームの導入
キーワード:X線回折、有機薄膜、マイクロビーム
2D-GIXDは有機薄膜の結晶性や配向性の評価に有効な手法である。しかし0次元検出器と比較して、①角度分解能が低く②バックグラウンドが高い、といった欠点がある。そこでFresnel Zone Plate(FZP)でマイクロビームを形成し、角度分解能・S/B比の向上を試みた。FZPで得られたビームサイズは1.9μmであった。ペンタセン薄膜の2D-GIXDから角度分解能向上を確認した。