2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[14p-PB6-1~11] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2015年9月14日(月) 16:00 〜 18:00 PB6 (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[14p-PB6-2] 溶液法により成長したn型4H-SiC結晶のキャリア濃度分布の評価

〇王 振江1、川口 昂彦1、村山 健太1、青柳 健大1、原田 俊太1、酒井 武信1、宇治原 徹1 (1.名大院工)

キーワード:SiC、ドーピング、モフォロジー