[14p-PB6-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-PB6-2] 溶液法により成長したn型4H-SiC結晶のキャリア濃度分布の評価

〇王 振江¹、川口 昂彦¹、村山 健太¹、青柳 健大¹、原田 俊太¹、酒井 武信¹、宇治原 徹¹ (1.名大院工)

キーワード：SiC、ドーピング、モフォロジー