[14p-PB7-1~5] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-PB7-3] レーザーアニールSiCの結晶性評価

〇内盛 瑞記¹、マッツァムト フルビオ²、小野 修一³、新井 学³、山本 秀和¹ (1.千葉工大工、2.LASSE、3.新日本無線(株))

キーワード：パワーデバイス、SiC、レーザーアニール