2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15a-1A-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:00 1A (131+132)

座長:原田 俊太(名大)

11:30 〜 11:45

△ [15a-1A-10] 高温熱処理によるn型SiC厚膜エピタキシャル層のキャリア寿命制御

〇齋藤 栄治1、須田 淳1、木本 恒暢1 (1.京大院工)

キーワード：SiC、点欠陥、キャリア寿命