2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月15日(火) 08:45 〜 11:45 1D (141+142)

座長:小林 康之(弘前大),太田 実雄(東大)

11:15 〜 11:30

[15a-1D-10] GaNスパッタリングターゲットを用いた高結晶性GaN膜の形成

〇召田 雅実1、倉持 豪人1、清水 三聡2 (1.東ソー、2.産総研)

キーワード：窒化ガリウム、スパッタ