2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月15日(火) 08:45 〜 11:45 1D (141+142)

座長:小林 康之(弘前大),太田 実雄(東大)

09:00 〜 09:15

[15a-1D-2] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN 膜の構造と化学結合状態分析

〇長谷川 繁彦1、野間 正男2、山下 満3、江利口 浩二4 (1.阪大産研、2.神港精機、3.兵庫県立工業技術センター、4.京大院工)

キーワード：窒化ホウ素、化学結合状態分析