09:15 〜 09:30
[15a-2Q-2] パワー半導体におけるin-situトレンチ深さ測定システムの開発
キーワード：トレンチ深さ測定、プラズマ発光、in-situ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:15 2Q (231-1)
座長:辰巳 哲也(ソニー),石川 健治(名大)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:15 2Q (231-1)
座長:辰巳 哲也(ソニー),石川 健治(名大)
09:15 〜 09:30
キーワード：トレンチ深さ測定、プラズマ発光、in-situ