[15a-2S-1~11] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [15a-2S-4] Oxygen and Nitrogen Precipitates Distributed on Grain Boundaries in Multicrystalline Silicon

〇TAKUMI UNO^1,2, OGURA ATSUSHI¹, ONO HARUHIKO^2,1 (1.Meiji Univ., 2.Kanagawa Ind. Tech. Center)

Keywords:multicrystalline,precipitation,grain boundary

太陽電池用の多結晶シリコン中には、析出物や結晶粒界などが存在し、太陽電池の性能に影響を与えている。窒素はmc-Si中で窒素析出物となるが、酸素や粒界との関係は必ずしも明らかでない。本研究では、mc-Si中に存在する、酸素、窒素析出物に着目し、粒界との関係について調べた。その結果、粒界外では窒素析出物が単独で形成されるのに対し、ランダム粒界上では窒素析出物と酸素析出物の両方が形成されることが明らかになった。