[15a-2S-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [15a-2S-4] 多結晶シリコン中の粒界上に形成された酸素・窒素析出物

〇宇野 匠^1,2、小椋 厚志¹、小野 春彦^2,1 (1.明治大、2.神奈川県産技セ)

キーワード：多結晶シリコン、析出物、粒界

太陽電池用の多結晶シリコン中には、析出物や結晶粒界などが存在し、太陽電池の性能に影響を与えている。窒素はmc-Si中で窒素析出物となるが、酸素や粒界との関係は必ずしも明らかでない。本研究では、mc-Si中に存在する、酸素、窒素析出物に着目し、粒界との関係について調べた。その結果、粒界外では窒素析出物が単独で形成されるのに対し、ランダム粒界上では窒素析出物と酸素析出物の両方が形成されることが明らかになった。