[15a-2S-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-2S-9] 結晶Si太陽電池の断面仕事関数測定に適した観察面研磨手法の検討

〇(PC)山田 郁彦¹、須田 耕平²、神岡 武文¹、中村 京太郎²、小椋 厚志²、大下 祥雄¹、神谷 格¹ (1.豊田工大、2.明治大)

キーワード：結晶Si太陽電池、AFM、KFM

結晶Si太陽電池の表面構成層について、ナノスケールでの仕事関数測定から各層の電気的接合状態解明を目指している。測定には基板-表面層断面の作製が必要であるが、異種材料の界面をナノスケールで平坦にすることは難しい。当発表ではイオンによる研磨及びクリーニング、機械研磨等を組み合わせた手法についての検討結果を報告する。