2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:30 2V (234-1(南側))

座長:佐々木 浩一(北大)

10:30 〜 10:45

△ [15a-2V-7] 窒化ガリウム薄膜に対するアルゴンおよび塩素プラズマの効果

〇(M1)伴野 良継1、小川 大輔1、中野 由崇1、中村 圭二1 (1.中部大工)

キーワード：PID、フォトルミネッセンス、その場計測