10:00 〜 10:15
[15a-4C-5] 界面顕微光応答法を用いたAu/a-IGZOショットキー接触の通電劣化の2次元評価
キーワード：界面顕微光応答法、酸化物半導体、ショットキー接触
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
[15a-4C-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:30 4C (432)
座長:牧山 剛三(富士通研)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:30 4C (432)
座長:牧山 剛三(富士通研)
10:00 〜 10:15
キーワード：界面顕微光応答法、酸化物半導体、ショットキー接触