[15a-4E-1~7] 7.1 X線技術

[15a-4E-2] マイクロマシン技術を用いた 12 inch Si 基板光学系のX線反射実証

〇沼澤 正樹¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、小川 智弘¹、佐藤 真柚¹、中村 果澄¹、大橋 隆哉¹、満田 和久³、前田 龍太郎⁴、廣島 洋⁴、倉島 優一⁴、野田 大二⁵ (1.首都大、2.理研、3.JAXA / ISAS、4.産総研、5.マイクロマシンセンター)

キーワード：X線結像光学系、12インチシリコン基板、MEMS

私たちはマイクロマシン技術を用いて、 Si 基板に微細かつ垂直な曲面穴を無数に形成し、その穴の側壁を反射鏡として用いる超軽量次世代X線望遠鏡を開発している。本講演では、産総研の持つ世界最高性能エッチング装置を用いて開発した12 inch Si 基板光学系での、世界初となるX線反射実証の結果について報告する。