[15a-4F-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-4F-6] ブラッグマンの有効媒質近似を用いたDLC膜の構造評価

〇荒川 悟¹、周 小龍¹、サラユット トゥンミー¹、中島 秀樹²、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技術科学大学、2.シンクロトロン光研究所)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、有効媒質近似、分光エリプソメトリー

混合相で構成される物質の誘電関数を，標準物質の誘電関数と体積分率（ f _i ）から近似するブラッグマンの有効媒質近似（BEMA）がある．今回，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜がDiamond，Highly oriented pyrolytic graphite（HOPG），Voidによって構成されていると仮定して，BEMAによりDLC膜の構造評価を試みた．Diamond，HOPGはそれぞれDLC膜中のsp³，sp²結合炭素の構造を表し，VoidはDLC膜のアモルファス化によって増加する自由体積を表していると想定した．