[15a-PB3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15a-PB3-1] MBE法でエピタキシャル成長したBaSi₂膜粒径の成長膜厚依存性

〇塚原 大地¹、馬場 正和¹、都甲 薫¹、末益 崇^1,2 (1.筑波大数理、2.JST-CREST)

キーワード：原子間力顕微鏡、粒径