[15a-PB3-1~12] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

△ [15a-PB3-8] Synthesis of Si-based Nanostructures using silicides as templates by IP6 treatment

〇kenta sasaki¹, Koki Sano¹, Xiang Meng¹, Hiroaki Suzuki¹, Hirokazu Tatsuoka¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:semiconductor,nanostructure,silicide

近年、バルク結晶にない新しい物性の発現を目的としてナノスケールで構造制御された材料の開発が進められている。Si系ナノシートについてはCaSi₂結晶からCa原子の脱離することにより作成されてきた。これらの構造は元のシリサイドの基本構造を保持するためSi系ナノ構造の作製が期待される。ここでは様々なシリサイドをテンプレートとして用い、シリコン系ナノ構造物を室温、大気圧下での作製を試みた。