2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-1A-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2015年9月15日(火) 13:30 〜 17:30 1A (131+132)

座長:黒木 伸一郎(広島大),升本 恵子(産総研)

16:15 〜 16:30

[15p-1A-10] ミラー電子顕微鏡，低エネルギーSEMによる4H-SiC基底面転位像観察

〇一色 俊之1、生頼 義久2、佐藤 高広2 (1.京工繊大、2.日立ハイテク)

キーワード：ミラー電子顕微鏡、欠陥評価、基底面転位