[15p-1A-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-1A-4] 積層Mo/C電極によるSiCショットキーダイオードの電気特性評価

〇(M1)鈴木 智之¹、若林 整¹、筒井 一生¹、岩井 洋¹、角嶋 邦之¹ (1.東工大総理工)

キーワード：炭化ケイ素、炭化モリブデン、ショットキーダイオード