2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/集積化技術

[15p-1C-1~18] 13.5 デバイス/集積化技術

2015年9月15日(火) 13:15 〜 18:00 1C (135)

座長:齋藤 真澄(東芝),入沢 寿史(産総研)

17:30 〜 17:45

[15p-1C-17] 二次元Si系半導体の検討(Ⅱ):C添加による物性変調

〇長嶺 由騎1、小又 祐介1、青木 孝1、水野 智久1、鮫島 俊之2 (1.神奈川大理、2.東京農工大工)

キーワード:半導体