[15p-1D-1~11] 窒化物半導体特異構造の科学　～表面・界面の制御と物理～

△ [15p-1D-3] X線マイクロ回折を用いた3次元逆格子マップ解析による窒化物半導体結晶構造評価

〇鎌田 祥平¹、竹内 正太郎¹、ディンタン カン¹、三宅 秀人²、平松 和政²、今井 康彦³、木村 滋³、酒井 朗¹ (1.阪大基礎工、2.三重大院工、3.JASRI/SPring-8)

キーワード：X線マイクロ回折、窒化アルミニウム、3次元逆格子マッピング