14:15 〜 14:30
△ [15p-1D-3] X線マイクロ回折を用いた3次元逆格子マップ解析による窒化物半導体結晶構造評価
キーワード:X線マイクロ回折、窒化アルミニウム、3次元逆格子マッピング
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 窒化物半導体特異構造の科学 ~表面・界面の制御と物理~
2015年9月15日(火) 13:15 〜 17:45 1D (141+142)
座長:三宅 秀人(三重大),片山 竜二(東北大),熊谷 義直(農工大)
14:15 〜 14:30
キーワード:X線マイクロ回折、窒化アルミニウム、3次元逆格子マッピング