[15p-1E-1~10] 3.8 光計測技術・機器

△ [15p-1E-3] Shack-Hartmann波面センサのスティッチング用走査機構の検討

〇三輪 佳史¹、遠藤 貴雄¹、鈴木 二郎¹、安藤 俊行¹ (1.三菱電機)

キーワード：シャックハルトマン、波面センサ、レーザービーム

Shack-Hartmann波面センサ(SHWFS)を走査して部分開口の波面を繋ぎ合わせる測定方法について、走査機構の角度振れが蓄積することで精度が低下する。我々は、平行平板での屈折を利用することで光軸の角度振れを防ぐ方法を検討し、実験により検証したので報告する。