[15p-2J-1~10] 機能性酸化物の原子・ナノスケール機能開拓最前線

[15p-2J-1] 酸化物界面の原子構造解析と機能特性

〇幾原 雄一^1,2,3 (1.東大工、2.JFCC、3.東北大WPI)

キーワード：界面、収差補正走査透過電子顕微鏡、偏析

近年、球面収差補正技術を駆使した走査透過電子顕微鏡法（STEM）を用いることで、固体内のドーパント原子一個一個について、その位置や元素の識別のみならず、局所的な電子状態の解析までが可能となりつつある。現状では、加速電圧100～200kVの透過電子顕微鏡でも優に0.1nm以下の分解能が得られるようになっており、その最高分解能は既に0.05nmを切っている状況にある。本講演では、原子分解能STEM法を種々の材料の粒界・界面や転位に応用した最近の結果を中心に述べる