[15p-2L-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[15p-2L-10] BiFe_1-XZn_X/2Ti_X/2O₃エピタキシャル膜のスパッタ成長と熱的安定性

〇(M2)小寺 大喜¹、熊谷 卓哉¹、京兼 広和¹、横田 壮司¹、五味 學¹ (1.名工大)

キーワード：BiFeO3、エピタキシャル膜、熱的安定性

電界による磁気秩序制御を目指し、菱面体晶と疑正方晶の相境界付近の組成を持つBiFe_1-XZn_X/2Ti_X/2O₃(X=0～1)エピタキシャル膜をスパッタ成長させた。Xによる結晶構造の変化と共に熱的安定性について議論する。