[15p-2L-1~13] 6.1 Ferroelectric thin films

[15p-2L-6] Deposition and composition dependence of Pb(Hf,Ti)O₃ thin films

〇Shogo Nishio¹, Fumiya Kurokawa¹, Yuichi Tsujiura¹, Hirotaka Hida¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:piezoelectric thin films

代表的な圧電材料の一つであるPb(Zr_x,Ti_1-x)O₃(PZT)のZrをHfに置き換えたPb(Hf_x,Ti_1-x)O₃ (PHT)が，PZTと類似した特性を持つことが報告されている．我々は，前回の発表でPHTを薄膜化し，その圧電特性について報告した．PHT薄膜を作製し，その評価を行った結果，PZT薄膜に匹敵する圧電特性が得られることを確認した．本研究ではPHT薄膜の圧電特性について，その配向依存性およびシード層の効果について調べた．