PDF ダウンロード スケジュール 13 いいね! 0 14:00 〜 14:15 [15p-2Q-2] マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの温度分布 〇西川 拓1、豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター) キーワード:プラズマ、紫外光源