2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-2R-1~22] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2015年9月15日(火) 13:30 〜 19:15 2R (231-2)

座長:立岡 浩一(静岡大),鵜殿 治彦(茨城大)

16:45 〜 17:00

[15p-2R-13] In-situ MoOxキャップを施したBaSi2エピタキシャル膜の電気/光学特性評価

〇武内 大樹1、Du Weijie1、高部 涼太1、都甲 薫1、原 康祐2、宇佐美 徳隆3,4、末益 崇1,4 (1.筑波大学院、2.山梨大学、3.名古屋大学、4.JST-CREST)

キーワード：BaSi2、大気暴露