[15p-2S-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-2S-6] スピンコートアルミナ薄膜のパッシベーション特性に及ぼす界面酸化膜の効果

〇渡邊 良祐¹、川島 瑞穂¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大理工)

キーワード：太陽電池、パッシベーション、ゾルゲル法

負の固定電荷を持つアルミナは、p型シリコン基板表面での良好な電界効果パッシベーションが期待できる。ウェットプロセスで作製したパッシベーション膜は、特に低温での試料焼成時に高い界面準位密度が問題となったため、これを界面酸化膜により低減させることを試みた。アルミナは、アルミニウムイソプロポキシド溶液を焼成して形成した。焼成温度300°Cで作製した試料では、SiO₂層を界面に形成した場合に実効ライフタイムが増大した。