[15p-2T-1~18] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[15p-2T-15] プラズマを用いた表面処理によるグラフェンの仕事関数制御

〇赤田 圭史¹、小幡 誠司¹、斉木 幸一朗¹ (1.東大院新領域)

キーワード：グラフェン、仕事関数、窒素ドープ

本研究ではプラズマによるグラフェン表面の水素化処理によって，グラフェンの仕事関数低減を行った。そして窒素ドープされたグラフェンを水素化することで，水素化処理のみを行った試料よりもさらに進んだ仕事関数の低減に成功した。